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FS-70 系列
378 系列 — 半导体检测用显微镜单元
• 带目镜观察的小巧显微镜单元。适于检测金
属表面、半导体、液晶基板、树脂等。
• 多种显微镜镜体通常用作适用于专业器械的
OEM (原厂委制) 产品,如那些利用YAG (近红
外、可见、近紫外或紫外) 激光* 对半导体晶
片进行检测和修补的设备。
* 不保证激光系统产品的性能和安全性。
• 应用:切割、修整、校正、 给半导体电路做
标记/ 薄膜(绝缘膜) 清洁与加工、液晶彩色
滤光器的修复(校正错误)。还可用作光学观
察剖面图以便探针分析半导体故障。
• 可用于红外光学系统*。
应用:晶体硅的内部观察;红外光谱特征
分析。
* 需要红外光源和红外摄像机。
• 支持BF (明视场)、DF (暗视场)、偏振光及微
分干涉对比(DIC) 的型号(产品) 可用。
• 带有孔径光阑的柯勒照明是表面照明光学
系统上的标准配件。
• 内倾转塔和超长工作距离的物镜确保了显
微镜下的高可操作性。
规格
型号FS70 FS70-TH FS70Z FS70Z-TH FS70L FS70L-TH FS70L4 FS70L4-TH
货号378-184-1 378-184-3 378-185-1 378-185-3 378-186-1 378-186-3 378-187-1 378-187-3
型号FS70-S FS70-THS FS70Z-S FS70Z-THS FS70L-S FS70L-THS FS70L4-S FS70L4-THS
货号378-184-2 378-184-4 378-185-2 378-185-4 378-186-2 378-186-4 378-187-2 378-187-4
聚焦调节使用同心粗调(3.8mm/rev)和微调(0.1mm/rev)对焦轮(右/左)实现50mm行程范围